光刻机突破的3条逻辑线

上周五盘面最靓的仔是光刻机，光刻机内部的核心是雄安新区开工建设的中科院、清华大学强强联合的国产光刻机突破项目---中科院和清华大学最为创新、最为激进的SSMB-EUV光刻工厂路线，即用自由电子激光和同步辐射源两种混合光源形成SSMB-EUV光刻机光源绕开ASML封锁。引爆这个题材的核心是东方钽业 ，昨天高开被砸大阴线，今天直接大高开秒板反包涨停，东方钽业涨停以以后，给了联合精密助攻6板的先锋挡刀，其实这个时候资金对于光刻机还是犹豫的，为什么呢？因为联合精密9:32涨停以后几次板上分歧，一直到9:58最后一次才回封焊死，10:49晶方科技 涨停，是先进封装属性，这里的拐点是11:29的中广核技 ，中广核技的涨停直接引爆了第四代高能同步辐射光源（HEPS）加速提题材。

中午小作文和挖票纷纷行动起来，下午开盘给高能同步辐射光源（HEPS）做仪器检测的必创科技秒板，给高能同步辐射光源（HEPS）做专用线缆的宝胜股份 秒板，给高能同步辐射光源（HEPS）提供高次模抑制器（筛选不同能量的粒子，进行光源粒子的定向迁移，实现3nm---7nm）的国光电器 秒板涨停，于是市场开始大面积挖掘高能同步辐射光源（HEPS），甚至连做特气耗材的凯美特气 都秒板直线拉涨停，京华激光的反包涨停和张江高科的反包涨停说明光刻机的情绪已经蔓延，不拘泥于日内引爆的核心高能同步辐射光源（HEPS），开始蔓延到所有股性活跃的光刻机产业链，连“其实不是光刻机是光雕机”的苏大维格 都继续大阳线而不是闷杀阴线，可以看到市场对于光刻机的认可度。

下周预料：光刻机会超越华为手机产业链，成为新的科技风向标，毕竟华为手机已经都炒作过了，没有新看点了，但是光刻机不一样，高科技里各种元器件拿出来都是“突破预期差”，比如周五的高能同步辐射光源。

第一、上海微电子，走ASML路线，全程规避美规。

采用1X千瓦/60Khz的超高重复频率二氧化碳激光打靶。

上海电气：母公司为上海电气控股集团有限公司，其持有上海微电子装备(集团)股份有限公司34.91%的股权，为上海微电子第一大股东

张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；

东方明珠：间接持有上海微电子约2%股权；

茂莱光学：DUV光学透镜已供货上海微电子；

富创精密：国产半导体设备零部件龙头，已进入ASML供应链体系，切入上海微电子等国产半导体设备厂；

苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品.

第二：清华大学最为创新、最为激进的SSMB-EUV光刻工厂路线，即用同步辐射源和自由电子激光两种混合光源形成SSMB-EUV光刻机光源绕开ASML封锁。

这条技术路线如果成功，光源外置、极大简化的光路直接把EUV光刻机变成体积大，但是成本相对较低的批量产品，且更匹配中国极高的基础设施建设能力。

粒子加速器

中广核技：旗下子公司中科海维研（目前更名为广核辐照技术）发成功上海光源（SSRC）加速管，成为国内首家实现该型高科技产品产业化的企业，并出口用于巴西国家重大科研项目——“巴西光源”

高能同步辐射光源

射频腔：东方钽业、西部材料；

东方钽业：铌金属具有超导性能优异的特点，是粒子加速器中铌超导腔的核心材料，主要应用于高能同步辐射光源（HEPS）、加速器驱动嬗变研究装置（CiADS）、硬 X 射线自由电子激光装置（SHINE）、强流重离子加速器装置（HIAF）等国家大科学装置，是国家重点支持产业。

必创科技: 公司为同步辐射研究用科学仪器等方面提供新型高性能科学仪器及装置。

高能同步辐射光源真空内波荡器磁性

首钢股份：首钢北冶公司近日成功中标中国科学院高能物理研究所高能同步辐射光源真空内波荡器磁性材料量产（第二包）磁极加工项目，这是北冶公司继2020年10月份后又一次中标此类项目。

高次模抑制器：

国光电气：中标中国科学院高能物理研究所高能同步辐射光源（HEPS）高次模抑制器

HEPS特种电缆：

宝胜股份：中标中国科学院高能物理研究所HEPS电线电缆

英杰电气：中标高能同步辐射光源（HEPS）调功柜

长飞光纤：北京博邦弘光科技有限公司中标中国科学院高能物理研究所采用长飞光纤光缆产品

第三：、广智院与华中科技大学，采用分时高功率光纤激光器射击液态锡靶的方式绕开超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器这个路线，目前样机的效果是传统二氧化碳激光器的LPP光源的数倍

晶瑞电材：i线光刻胶龙头，国内最早规模量产光刻胶少数几家企业之一；

彤程新材：国内KeF光刻胶唯一量产g/i线光刻胶稳定量产供应KrF批量供应国内晶圆厂；

上海新阳：自主研发KrF光刻胶产品厚膜KrF光刻胶已有小批量订单；

南大光电：自主研发和产业化ArF光刻胶目前已签订小批量订单；

容大感光：感光电子化学材料龙头LCD/LED用光刻胶IC用g/i线光刻胶批量销售；

雅克科技：彩色光刻胶供应商，正在布局半导体光刻胶LCD/OLED屏光刻胶已供负；

飞凯材料：主攻半导体光刻胶，TFT光刻胶月产量几十吨i线光刻胶正在验证；

华懋科技：光刻机专用光敏剂龙头覆盖ArF,KrF,i线电子束四大品类；

江化微：湿电子化学品龙头光刻胶配套试剂已经量产；

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