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机构：华创证券
研究员：岳阳
2026 年3 月31 日，公司发布2025 年年报；2026 年4 月29 日，公司发布2026年一季报：
1）2025 年公司实现营收123.85 亿元，同比+36.62%；毛利率39.17%，同比-1.89pct；归母净利润21.11 亿元同比+30.69%；扣非归母净利润15.50 亿元，同比+11.64%；
2）26Q1 公司实现营收29.15 亿元，同比/环比+34.13%/ -32.56%；毛利率39.89%，同比/ 环比-1.65pct/+0.6pct ； 归母净利润9.30 亿元, 同比/ 环比YoY+197.20%/+3.36%，扣非归母净利润4.78 亿元, 同比/环比+60.09%/-27.97%。
评论：
扣非利润增速逐季提升，毛利率企稳回升，Q1 研发高投入压制放缓释放利润弹性。2025 年毛利率39.17%（YoY-1.89pct），主因客户结构变化给予部分客户销售折扣。25Q4/26Q1 单季度毛利率39.29%/39.89% 环比分别提升1.4pct/0.6pct，毛利率已阶段性企稳回升。费用端最大变量是研发：2025 年研发费用24.75 亿元（YoY+74.61%），研发投入总额37.44 亿元占收入30.23%，远高于科创板均值；26Q1 研发支出9.08 亿元（YoY+32.15%），增速较全年有所收敛，费用端压力边际减轻。26Q1 归母净利润大增197%，其中包含处置拓荆科技股票税后净收益约3.97 亿元，剔除后扣非约+60%更能反映主业趋势。
刻蚀设备稳固基本盘，薄膜设备进入放量期。 1）刻蚀设备2025 年销售98.32亿元（YoY+35.12%），其中CCP 单年付运超1000 个反应台、累计装机超5000台，连续十年CAGR>30%；ICP 累计安装1800 台，近9 年年均增长>100%。
公司在先进存储超高深宽比（60:1 已成国内标配）和先进逻辑3nm 及以下关键工艺上持续突破，高端产品占比提升是后续毛利率回升的核心抓手。2）薄膜设备是最大的边际变化：LPCVD 2025 年销售5.06 亿元（YoY+224.23%），累计出货突破300 个反应台；钨系列已获得客户重复量产订单、金属栅系列已完成多个先进逻辑客户设备验证,核准推进顺利。我们认为薄膜设备正从验证期进入放量期，2026-2027 年有望成为收入增量的核心新驱动。26Q1 公司薄膜设备新增付运量保持快速增长。MOCVD 方面，Micro-LED 设备Preciomo Udx已获重复订单，GaN 功率器件PRISMO PD5 获重复订单，新型8”碳化硅外延设备已进入国内头部企业试产验证。
国产替代加速+产品矩阵扩张+产能释放，中期成长确定性强。短期看，海外出口管制趋严使国内存储和逻辑大厂对国产刻蚀/薄膜设备的需求刚性提升，公司作为国内同时覆盖CCP+ICP+薄膜的平台型设备公司，卡位优势突出。中期看，公司在研项目涵盖六大类超20 款新设备，薄膜从LPCVD/ALD 向WCVD、PECVD Ti、PVD CuBS、EPI 等全面展开，TAM 从刻蚀（据Gartner 数据占晶圆设备~22%）扩展至薄膜（~23%），远期还布局量检测（子公司超微，市场占前道设备~13%）和湿法设备（拟收购众硅电子）。产能端，临港二期（20 万㎡）拟2026H2 开工，广州一期预计2026 年底建成、2027 年投产，成都基地预计2027 年投产，产能瓶颈将逐步打开。此外SEMI 预测2026/2027 年全球半导体设备市场将达1450/1560 亿美元续创新高，行业β 共振向上。
投资建议：下游扩产叠加替代加速，公司作为国内半导体设备重要厂商有望显著受益，同时研发高投入持续、毛利率在产品结构改善下有望逐步企稳，我们将公司2026-2027 年归母净利润预测由29.23/39.58 亿元调整至29.25/39.60 亿元，新增2028 年归母净利润预测51.91 亿元。结合公司历史估值及行业平均估值水平，给予公司2026 年17 倍PS，对应目标价为457.5 元，维持“强推”评级。
风险提示: 国际贸易形势变化；下游扩产不及预期；新品拓展不及预期；上游零部件供应短缺；行业竞争加剧。