微导纳米(688147.SH)：公司已经出货了XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术相关产品

格隆汇6月1日丨有投资者向微导纳米(688147.SH)提问：公司在半导体和光伏领域的产品布局如何？

微导纳米回复：半导体领域，公司加速逻辑、存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等半导体各细分领域产品的产业化，针对各细分应用领域研发试制新型ALD设备，并进一步完善产品矩阵，开发CVD等产品，满足客户在各技术节点上对薄膜沉积设备的需求。公司已开发的ALD设备，适用于沉积各种氧化物和氮化物、互相掺杂沉积工艺等薄膜材料，可广泛应用于逻辑芯片、传统及新型存储芯片的电容介质层、高 K 栅介质覆盖层、掺杂介质层、芯片制造电极及阻挡层、化合物半导体钝化和过渡层、MEMS和CMOS 芯片的多重图案化和间隔层等众多应用领域。

在光伏领域内，公司持续丰富产品线，提供ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种产品，推进实施AEP?（ALD Enabled Photovoltaics）技术为核心的TOPCon电池工艺整线策略，提高公司产品在客户产线投资中的占比，为客户提供更为完整、高效、经济的薄膜沉积解决方案。2022年，由公司开发的行业内首条GW级TOPCon工艺整线项目已经取得客户的验收，实现产业化应用，并快速放量逐步成为行业主流电池技术。同期，公司已经出货了XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术相关产品，未来将进一步持续进行研发和投入，迭代发展升级，从而引领相关技术的产业化。