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机构：天风证券
研究员：李双亮/朱晔
半导体量检测设备行业是保障芯片制造良率的关键环节，2024 年全球市场规模达143.5 亿美元，占全球半导体制造设备约13%，仅次于刻蚀、薄膜沉积和光刻设备，国产化率仍处低位，国产替代空间广阔。半导体质量控制设备按检测类型分类，检测量测设备是保障良品率关键。半导体质量控制对芯片良品率至关重要，检测和量测设备2024 年全球市场规模达143.5亿美元，占全球半导体制造设备约13%，仅次于刻蚀、薄膜沉积和光刻设备。中国半导体检测量测设备虽国产化率低，但市场增长快，国产化有望加速。中国大陆半导体检测量测设备市场高速增长，受益于行业发展和政策扶持。据SEMI 预测，2024 年中国大陆晶圆产能同比增15%至885 万片/月，2025 年再增14%至1010 万片/月，增速全球第一。中国大陆半导体检测量测设备市场高速增长，受益于行业发展和政策扶持。据 VLSI 数据，2020-2024 年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为27.73%。
公司检测与量测环节的量检测设备产品品类齐全，核心设备在头部客户产线持续验证并加快导入。公司检测设备实现品类全覆盖，涵盖无图形、图形、明场及暗场纳米图形晶圆缺陷检测系列。其中无图形检测设备累计交付超300 台，图形检测设备超400 台，通过国内头部客户验证，暗场纳米图形检测设备填补了国内产品空白，打破了国外垄断，并逐步实现国产替代。中科飞测量测设备品类齐全，涵盖三维形貌、套刻精度、薄膜膜厚等系列。截至2025年上半年，三维形貌量测设备累计交付超200 台，套刻精度量测设备实现批量销售，两类薄膜膜厚量测设备覆盖国内主流集成电路客户产线。
投资建议：公司已形成“检测+量测”较为完整的产品矩阵，并在头部客户产线持续验证导入，逐步打破海外厂商在量检测环节的长期垄断。当前国内晶圆厂扩产与先进工艺演进共同推动量检测设备需求上行，同时国产设备导入处于加速窗口期，公司有望凭借技术能力与产品覆盖度实现市场份额持续提升。我们预计2025–2027 年公司总营收分别20.53/30.60/45.65 亿元，归母净利润分别为0.58/4.12/6.36 亿元。我们看好公司持续高增长，市场份额进一步提升。首次覆盖，给予“持有”评级。
风险提示：宏观环境风险、行业风险、核心竞争力风险、政府补助与税收优惠政策变动的风险、知识产权争议风险、股价变动风险。