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天准科技(688003.SH):参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用

2023年09月12日 09时13分 7,442

格隆汇9月12日丨准科技(688003.SH)9月12日在互动平台回复称,天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用,28nm节点检测设备正在研发中。