万业企业：高能离子注入机通过客户验证 为国内首台

格隆汇12月27日丨万业企业在互动平台回复投资者时表示，公司旗下凯世通的高能离子注入机设备已顺利通过客户验证并完成验收。这是国产高能离子注入机首次通过晶圆厂验证。注：集成电路离子注入机主要厂商有应用材料和Axcelis，此前国内晶圆厂使用的离子注入机几乎全部依赖海外。