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机构：光大证券
研究员：刘凯/黄筱茜
多产品线发力，构筑平台型公司。公司作为领先的半导体设备公司，各产品线齐发力：1）2025 年公司刻蚀设备实现收入约98.32 亿元，同比增长35.12%。公司产品设备覆盖从65 纳米到3 纳米及更先进工艺的众多刻蚀领域，公司刻蚀设备全球累计出货超6800 台，双台机的片内刻蚀速率匹配精度和重复性达到近1纳米的单原子控制水平。2025 年公司CCP 刻蚀设备累计装机量超过5000 反应台，ICP 刻蚀设备在客户端的累计安装数达到1800 个反应台。2）公司薄膜沉积设备2025 年实现收入5.06 亿元，同比增长224.23%。公司LPCVD 设备累计出货量突破300 个反应台，为先进存储器件和逻辑器件开发的LPCVD 和ALD 等十多款导体和介质薄膜设备已顺利进入市场，EPI 设备已顺利进入客户端量产验证阶段，薄膜设备的覆盖率不断增加。3）公司MOCVD 累计出货量超600 腔，Micro-LED 用新型MOCVD 设备订单超1 亿元。公司开发出碳化硅和氮化镓功率器件用MOCVD 设备、Micro LED 所需的蓝绿光和红黄光等四款MOCVD 设备陆续推向市场。截至2025 年底，公司已累计有7800 余台等离子刻蚀和化学薄膜反应台，在国内外170+条生产线全面实现量产和大规模重复性销售。
收购CMP 领域公司，补齐业务版图。公司拟通过发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的方式购买杭州众硅电子科技有限公司控股权。杭州众硅所开发的湿法设备中的化学机械抛光设备CMP，是半导体工艺加工核心设备之一。这一整合填补公司在湿法设备领域的空白，提升了公司在先进制程中为客户提供系统级整体解决方案的能力。
发布股权激励计划，设置清晰考核目标。公司发布2026 年股权激励计划，以2025年的营业收入为基数，根据各考核年度的营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩考核目标对应的公司层面归属比例，对2026-2029 年的业绩进行考核，增强企业内部员工积极性和归属感。
盈利预测、估值与评级：公司是国内半导体刻蚀设备的领军企业，先进制程产品不断突破，多款新品持续放量。随着我国先进制程产线的扩产，将持续受益于国产化带来的业绩增量，我们上调公司2026-2027 年归母净利润预测为35.44 和50.51 亿元（上调11%和20%），新增2028 年归母净利润预测为68.30 亿元。
我们维持公司“买入”评级。
风险提示：技术与产品研发风险；贸易环境影响。