华海清科(688120.SH)：应用于Cu、Al、W、Co等金属制程的薄膜厚度测量设备已发往多家客户验证，实现小批量出货

格隆汇4月30日丨华海清科(688120.SH)在投资者互动平台表示，目前公司湿法设备包含清洗设备及供液系统，其中清洗设备已批量用于公司晶圆再生生产，2023年，首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业进行验证；应用于12英寸集成电路FEOL/BEOL晶圆正背面及边缘清洗的清洗机已完成装配；用于湿法工艺设备中研磨液、清洗液等化学品供应的SDS/CDS供液系统设备已获得批量采购。应用于Cu、Al、W、Co等金属制程的薄膜厚度测量设备已发往多家客户验证，实现小批量出货，部分机台已通过验收。具体产品介绍请详见公司披露的2023年年度报告。 近年来，公司晶圆再生、关键耗材与维保等服务业务收入约占营业收入的比例在10%左右。公司晶圆再生产能已经达到10万片/月，在国内知名大厂均已完成前期导入工作，获得多家大生产线批量订单并长期稳定供货；随着公司CMP设备保有量的不断攀升，耗材零部件、抛光头维保服务等业务量也会相应提升，关键耗材维保及技术服务将成为公司新的利润增长点。