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南大光电(300346.SZ):ArF光刻胶产品通过客户认证

2020年12月17日 17时52分

格隆汇 12 月 17日丨南大光电(300346.SZ)公布,公司控股子公司宁波南大光电材料有限公司(“宁波南大光电”)自主研发的ArF光刻胶产品近日成功通过客户的使用认证。

“ArF光刻胶产品开发和产业化”是宁波南大光电承接国家“02专项”的一个重点攻关项目。此次产品的认证通过,标志着“ArF光刻胶产品开发和产业化”项目取得了关键性的突破,成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶,为全面完成项目目标奠定了坚实的基础。

认证评估报告显示,“此次认证选择客户50nm闪存产品中的控制栅进行验证,宁波南大光电的ArF光刻胶产品测试各项性能满足工艺规格要求,良率结果达标。”

ArF光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,可以用于90nm-14nm甚至7nm技术节点的集成电路制造工艺。广泛应用于高端芯片制造(如逻辑芯片、AI芯片、5G芯片、大容量存储器和云计算芯片等)。

ArF光刻胶的市场前景好于预期。随着国内IC行业的快速发展,自主创新和国产化步伐的加快,以及先进制程工艺的应用,将大大拉动光刻胶的用量。

此次通过客户认证的产业化意义大。此次验证使用的50nm闪存技术平台,在特征尺寸上,线制程工艺可以满足45nm-90nm光刻需求,孔制程工艺可满足65nm-90nm光刻需求,该工艺平台的光刻胶在业界有代表性。