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拓荆科技(688072.SH):公司研制的PE-ALD设备已实现量产

2023年11月02日 09时28分 27,814

格隆汇11月2日丨拓荆科技(688072.SH)接受特定对象调研时表示,公司研制的PE-ALD设备已实现量产,可以沉积SiO2、SiN等介质薄膜材料,Thermal-ALD设备已出货至不同客户端进行验证,可以沉积Al2O3等金属化合物薄膜。