三星晶圆代工计划在1nm级制程节点实现High NA EUV商业应用

格隆汇8月11日｜来自三星电子半导体研究院晶圆代工工艺开发团队的Park Chang Min表示，该企业计划在1nm级工艺制程节点实现High NA EUV设备的商业化应用。