北方华创发布12英寸先进气体团簇离子束刻蚀设备

格隆汇6月2日｜北方华创日前正式发布全新12英寸气体团簇离子束(GCIB)刻蚀设备Acme Glaion130。设备突破三大核心技术瓶颈，覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及AR/VR应用场景。