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公司问答丨广钢气体:公司自主研发的“Super-N”系列超高纯制氮装置 可稳定生产并持续供应ppb级超高纯氮气

格隆汇5月8日|有投资者在互动平台向广钢气体提问:公司的Super-N系列超高纯制氮装置技术达到国际什么水平?能否详细介绍其技术优势?

广钢气体回复称,公司自主研发的“Super-N”系列超高纯制氮装置,可稳定生产并持续供应ppb级超高纯氮气,满足集成电路制造对气体纯度的严苛要求。在技术指标方面,该系列产品的纯度、产品规格等参数表现优秀,并在经济性和交付周期上具备一定优势。目前,Super-N 30K、50K型号已落地应用。