芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运，国产高端光刻设备领域再次实现突破

格隆汇11月26日｜上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）再传捷报：公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。