艾森股份：KrF光刻胶下一步将在头部晶圆厂上线测试

格隆汇11月13日｜艾森股份(688720.SH)发布投资者关系活动记录表，目前公司KrF光刻胶AR（深宽比）>13，主要应用于CISisolation等高深宽比结构，包括存储芯片的相应结构，下一步将在头部晶圆厂上线测试。