昊华科技：部分特气产品国内占有率达60% 正研制光刻用电子混配气产品

格隆汇9月23日｜昊华科技在互动易平台上表示，旗下昊华气体拥有国家重要的特种气体研究生产基地，现有电子特种气体、电力绝缘气体等数十余种产品，主要产品有三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、六氟丙烷、硒化氢、硫化氢、溴化氢等，总产能达万吨级，部分产品国内市场占有率高达60%，产品主要应用于集成电路、平板显示和太阳能光伏等制造领域。目前公司正在研制光刻用电子混配气产品。