至纯科技：湿法设备在28纳米节点设备开发已完成 取得部分先进制程节点工艺订单

格隆汇9月22日｜至纯科技在互动平台表示，目前湿法设备在28纳米节点设备开发已经全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，也已取得部分工艺订单，尤其在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。