ASML的“三兄弟”往事

作者:邱丽婷

来源:半导体行业观察

在研究全球半导体设备行业时,我们很难忽略这样三家奇特的公司-ASML、ASMI以及ASMPT,他们名称中都含有ASM且均为上市公司,前两者的总部都在荷兰。

2018年,曾有外媒报道TCL欲10亿美元购荷兰ASMI子公司股权,当时就有吃瓜群众误以为TCL要进军光刻机(ASML)领域,可见两者相似性有多大。

事实上,这三家公司之间的确存在联系,并且渊源颇深,在开始讲述之前,以下这个简单的示意图,或许能够使大家更容易理解。

来源:面包财经

不难发现,这三家公司之间存在千丝万缕的关系。而根源,就得从一个人说起,这个人就是ASMI的创始人兼前首席执行官Arthur del Prado。

Arthur del Prado 来源:ASM


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起源


在官网的描述中,Arthur是一位行业内的传奇人物,在半导体行业中发挥了基础性和创始性作用。而在很多追随者的眼中,他是欧洲设备工业之父。

Jorijn van Duijn是一位研究了ASMI多年的博士研究生,在他的一篇报道中,我们看见了不一样的Arthur。Jorijn指出,Arthur的职业生涯起源以及由此而来的ASM International的根基都位于新兴的硅谷。

Arthur 于1931年出生于印度尼西亚的巴达维亚。自1940年代末以来,许多荷兰公民开始移居国外,年轻的Arthur也进入了著名的哈佛商学院,不过他并没有获得学位。1950年代后期,Arthur搬去加利福尼亚,那里的一切激发了他的创业热情。

1957年的硅谷,发生了惊天动地的变化,其中涉及20世纪一些最杰出的企业家。包括晶体管的共同发明者William Shockley,以及八名工程师,其中包括Robert Noyce和Gordon Moore,后来他们离开了Shockley的公司,这八名工程师(被Shockley昵称为“八叛逆”)随后创造了英特尔和美国国家半导体等。

这其中还有一位重要人物,Dean Knapic。1957年12月,Dean Knapic离开了Shockley半导体实验室,开始了自己的事业,创办了Knapic Electro-Physics,半导体制造商可以通过这家公司购买最先进的硅,而无需投资新的操作并熟悉晶体的制造工艺。这个领先的商业半导体材料制造商Knapic Electro-Physics为ASMI奠定了基础。

William Shockley,Smoot Horsley和Dean Knapic在Shockley半导体实验室工作 图源:网络

Arthur在Dean Knapic创立公司后与其相识,并保持了非常友好的关系。之后,以Knapic Electro-Physics“欧洲市场经理”身份前去荷兰,探索荷兰和西欧市场。

Arthur曾回忆说,“1958年6月28日回到荷兰,我一只手拿着硅,另一只手拿着500美元。” 

而这是这一次涉足,成为了其半导体技术杰出事业的开始。

1964年,Arthur在荷兰Bilthoven创立了ASM International(ASMI),1971年,ASMI开始生产第一批气相沉积炉。1981年,ASMI成为第一家在纳斯达克首次公开发行股票的荷兰公司。一年后,它成为第一家在日本设立全资子公司的荷兰公司。1999年,ASMI收购了芬兰公司Microchemistry;2004年,ASMI收购了韩国公司Genitech,巩固了其在原子层沉积(ALD)领域的先驱地位。

1974年,Arthur收购了Fico Toolings的控股权,该公司是一家用于半导体封装行业的材料制造商。并将其更名为ASM Fico,这为它通往西欧以外的新市场和更大市场开辟了道路。

ASM Fico的产品用于半导体器件的包装和组装。从1960年代开始,该行业的这一部分通常位于东南亚。看到这种趋势,1975年,Arthur在香港开设了亚洲ASM。最初,该办公室出售ASM Fico产品,但随着时间的推移,它衍生出了自己的生产能力。1988年,这些生产活动被公开列为ASM Pacific Technology(ASMPT)。目前,该公司已成长为全球最大的半导体组装和封装技术供应商。

1984年,飞利浦和ASMI成立了合资企业。在VLSI research的一篇报道中曾提到,Arthur在ASML的创立中发挥了关键作用。当时,飞利浦由于成本高昂,技术问题等原因计划要关停光刻设备研发小组。这时Arthur 找上门来要求合作开发生产光刻机。耐不住的Arthur 的软磨硬泡,飞利浦同意与Advanced Semiconductor Materials B.V.合作,在1984年4月成立Advanced Semiconductor Material Lithography Holding N.V.(ASML)。

到80年代中期,ASM的产品组合几乎涵盖了所有主要的半导体生产技术:沉积炉,光刻,离子注入,芯片和引线键合机以及各种封装技术。如今,这三家公司均是业内赫赫有名的半导体企业。


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ASM三剑客


ASML

首先是最有名的ASML。ASML主要为半导体生产商提供光刻机及相关服务,且是目前唯一一家能够生产制造7nm制程芯片光刻机的厂商。

光刻机到底有多难做,某乎的回答或许可以说明一点问题。

深圳LED网徐先生表示,一位M国工程师指出,光刻机一个零件就要调整多大数十年之久。光刻机的零件几乎都是定制,90%使用了世界最先进的加工技术,甚至一些接口都要工程师用高精度机械进行打磨,尺寸调整次数可能高达百万次以上。

以前,全世界能批量生产高端光刻机的厂家只有三家,荷兰ASML,日本的尼康和佳能,但是由于新一代光刻机研发投入太大,尼康和佳能基本处于停滞不前的状态。目前,据芯思想研究院的统计,ASML占据了全球近七成的市场,ASML 的技术水平代表了世界顶尖的技术水平。

Bloomberg 数据显示,在 45nm 以下高端光刻机设备市场,ASML占据市场份额高达80%以上,在极紫外光(EUV)领域,ASML是独家生产者,实现了全球独家垄断。2019 年 7 月 24日,ASML 的股价创下234.5 美元的历史新高。

ASML在2019年共销售了229台光刻机,其中,EUV设备仅26台,但营收却占了总营收的1/3。该公司预计,随着其他芯片制造商升级现有的「深紫外线」技术,到2025年,这一比例将升至四分之三。

由于佳能和尼康均未在EUV技术上追赶ASML,投资者得出结论,ASML将在一段时间内享受纳米级的垄断地位。自2010年以来,该公司市值增长了10倍,达到约1140亿欧元(见图表)。仅去年一年,这一数字就几乎翻了一番。ASML的市值超过了空客、西门子和大众。

ASML是数百家为芯片制造商供货的公司之一,英特尔、三星和台积电都出资支持其研发,以换取该公司股份。不只是客户和投资者对ASML的主导地位予以肯定,政客们也一样。EUV光刻技术被列入Wassenaar的「军民两用」技术清单。

再来说ASMI 和 ASM PT,据了解,ASMI 和 ASMPT 目前是独立运营的。两者唯一的关系在于ASMI是ASMPT最大的持股者,前者持有后者 25% 的股份。

半导体制造分为前段工序和后段工序。前段工序主要是在硅片等介质上设计和制作集成电路;后段工序主要是分割晶圆片、封装、测试等。ASMI 主攻前段工序,ASMPT 主攻后段工序。

ASMPT

ASMPT主要参与后段工序,为半导体业者提供封装和测试的设备及材料,是全球最大的半导体元件集成和封装设备供应商。

公司主要三大业务包括:1、后工序设备分部从事后工序设备的开发、生产及销售业务,其产品包括焊接机、发光二极管(LED)设备及测试处理机等;2、表面贴装技术解决方案分部提供表面贴装技术相关解决方案;3、物料分部从事引线框架业务。 

2019年,其后工序设备业务收入8.936亿美元,SMT解决方案业务收入8.966亿美元,物料业务收入2.364亿美元。

ASMPT在发展过程中经历过数次战略性并购,每一次并购对公司巩固原有产品线市场地位、跨领域业务拓展及前沿技术储备均具备明显效果。

在数次并购与高投入研发后,ASMPT的后段工序设备业务在2002年后全球市场占有率一直维持在第一。2010年收购西门子旗下的SMT(表面贴装技术)业务后,又迅速成为SMT行业龙头,2016年在SMT设备市场占有率第一,约为22%,尤其在前景广阔的汽车电子SMT设备市场也占据全球第一的份额。另外,在2015年分拆为独立部门的封装材料,目前全球市场份额排第四。

尚未涉足SMT业务之前,ASMPT的营收从2001年的15.6亿港元增长至2009年的47.32亿港元,年复合增长率为14.9%。2010年开始涉足SMT领域后,营收上了一个量级,突破100亿港元,2019年营收为157亿港元。

ASMPT收入规模  资料来源:Wind,华西证券研究所 

ASMI 

ASMI 目前是全球前十大设备供应商之一,在全球 7 个国家设有研发中心和生产基地,拥有 1900 名员工。

ASMI 中国业务开发总监徐来曾在采访中表示,ASMI 最大的优势就是 ALD 工艺,同时 ASMI 也是全球市占率最高的 ALD工艺设备供应商。据公开资料显示,ALD 设备是先进集成电路制造工艺中必不可缺少的薄膜沉积设备,ALD 工艺具有工艺温度低、薄膜厚度控制精确及台阶覆盖率高等优点。

此前有报道称,自2018年中下旬至2019年上半年,半导体行业一直处于寒冷状态,但ASMI销售额连续一个季度保持增长。尤其是2018年7月,其前端销售额甚至达到了历史最高记录。其中许多是就是ALD系统的产品。

在2019年年报中, ASMI表示,在ALD市场成功扩张的背景下,加上其他产品线的健康增长,ASMI在过去几年中的表现超过了更广泛的晶圆制造设备,实现了显著的销售增长。2019年是非常成功的一年,扣除结算收入,销售额增长了37%。加上毛利率不断提高,经营成本保持可控,2019年营业利润增长77%。


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总结


从ASMI成立到如今的五十几年里,Arthur对行业的烙印和影响是显而易见的。他有效地推进了欧洲半导体设备行业的创立,并对整个半导体行业产生了深远影响。

如今,无论是ASML、ASMI以及ASMPT都是行业中极富盛名的厂商,在不断发展的同时,也在不断延续着Arthur的创新精神。

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