ASML官宣全新半导体技术 5nm工艺产能有望暴涨600%

全球最大光刻机设备商ASML近日在官网宣布，完成第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。据悉，HMI eScan1000是一套基于HMI多光束技术的检测系统，用于验证先进工艺生产出来的晶圆质量。工艺越先进，检测系统就越重要，后者的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。该设备适用于5nm及更先进工艺，突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束，帮助产能提升600%，可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。

光刻机是半导体制造领域的核心设备之一，阿斯麦公司是全球技术水平最高、影响力最大的光刻设备供应商，也是全球最先进极紫外（EUV）光刻机的唯一供应商。根据“无锡发布”的消息称，5月14日，无锡高新区与阿斯麦（ASML）签署战略合作协议，扩建升级光刻设备技术服务（无锡）基地。